往復真空泵(又稱活塞式真空泵)的極限真空，單級為4 X 102Pa--103Pa，雙級可達1Pa,抽速范圍45m3/h-20000m3/h，用于從密封的容器中抽除氣體。被抽氣體很度不超過35t,如果加上輔助設備，如冷凍器，也可以抽燕氣。往復真空泵的排氣t較大，多用于真空浸漬、鋼水真空處理、真空蒸餾、真空燕發、真空濃縮、真空結晶、真空干澡、真空過濾及混凝土的真空作業等方面抽除氣體。
往復真空泵對于抽除腐蝕性的氣體或含有孩粒狀灰塵的氣休是不適用的。被抽氣休中如果含有灰塵，在泵的進口處必須加裝過濾器。
往復真空泵的概述與原理
無油往復真空泵由于采用自潤滑材料的活塞環、密封環，氣缸內無須加油潤滑;在氣缸與機體之間加設隔油腔(其長度大于一個行程長度)，阻止機體內潤滑油沿活塞桿漏人氣缸，所以該泵對被抽系統無污染。無油往復真空泵有立式和臥式兩種結構。
該泵的應用范圍是:
①需要清潔真空的環境中;
②在氣體禽要回收時，可在充氣腔充人回收氣體，以保證氣體的純度;
③當抽除易燃易爆氣體時，可向隔離腔充人惰性氣體，使空氣(助嫌劑)無法漏人氣缸，避免事故發生。
往復真空泵原理：
往復真空泵的工作原理如圖所示。主要部件是氣缸1及在其中做往復直線運動的活塞2。活塞的驅動是用曲柄連桿3來完成的。除上述主要部件外還有排氣閥4和吸氣閥5.
運轉時，在電動機的驅動下，通過曲柄連桿機構的作用，使氣缸內的活塞做往復運動。當活塞在氣缸內從左端向右端運動時，由于氣缸的左腔體積不斷增大，氣缸內氣體的密度減小，而形成抽氣過程，此時容器中的氣體經過吸氣閥5進人泵體左腔。當活塞達到最右位置時，氣缸內就完全充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運動，此時吸氣閥5關閉。氣缸內的氣體隨著活塞從右向左運動而逐漸被壓縮，當氣缸內氣體的壓強達到或稍大于大氣壓時，排氣閥4被打開，將氣體排到大氣中，完成一個工作循環。當活塞再自左向右運動時，又吸進一部分氣體，重復前一循環，
如此反復下去.直到被抽容器內達到某一穩定的平衡壓力為止。
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